1）技術(shù)參數(shù)：整機(jī)規(guī)格700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)腔體規(guī)格260mm(W)×260mm(D)×260mm(H)腔體容積17L電極規(guī)格內(nèi)置環(huán)形電極載物規(guī)格共2層，單層180mm×210mm電源系統(tǒng)RF射頻等離子發(fā)生源，全自動(dòng)阻抗匹配；13.56MHz...
1）技術(shù)參數(shù)：
整機(jī)規(guī)格 | 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
腔體規(guī)格 | 260mm(W)×260mm(D)×260mm(H) |
腔體容積 | 17L |
電極規(guī)格 | 內(nèi)置環(huán)形電極 |
載物規(guī)格 | 共2層，單層180mm×210mm |
電源系統(tǒng) | RF射頻等離子發(fā)生源，全自動(dòng)阻抗匹配；13.56MHz |
控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC自動(dòng)控制 |
真空系統(tǒng) | 抽速：6L/S |
氣路系統(tǒng) | 2路工作氣體、1路放空、1路接枝 |
工作電壓 | AC220V |
2）產(chǎn)品特點(diǎn)：
ü RF射頻晶體管等離子發(fā)生源，全自動(dòng)阻抗匹配。
ü 柜式結(jié)構(gòu)，真空泵內(nèi)置，有效節(jié)約占地面積。
ü 萬向底輪設(shè)計(jì)，方便設(shè)備移動(dòng)。
ü 高強(qiáng)度航空鋁合金腔體，耐腐蝕。
ü 置物層數(shù)為2層。
ü 內(nèi)置平板式電極，放電均勻。
ü 真彩色全中文界面觸摸屏，畫面清晰，操作方便。
ü PLC自動(dòng)控制，功能齊全，所有運(yùn)行參數(shù)可自行設(shè)置并監(jiān)控，主要功能包括：手動(dòng)模式/自動(dòng)模式任意切換、PID自動(dòng)調(diào)節(jié)、自動(dòng)操作、自動(dòng)報(bào)警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報(bào)警、放空?qǐng)?bào)警、電源無功率輸出報(bào)警、真空度過高報(bào)警、真空度過低報(bào)警等）、實(shí)時(shí)監(jiān)控畫面、配方管理及密碼管理功能。
3）應(yīng)用范圍：
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